　超精密平面磨床的技术要点二
一、新材料运用
超精密平面磨削对机床的热变形及振动控制要求较高，在机床基础结构件材料的运用上，应突破传统以灰铸铁为主的原则，采用新材料，如：非金属材料—树脂混凝土，该材料的振动衰减性、耐热梯度、线胀系数等特性均大大优于金属材料。因而在超精密平面磨削机床的主要关键基础件，如床身、立柱、拖板等应采用人造大理石材料。
二、高精度温度控制技术
对超精密平面磨削而言，机床热变形的控制极为重要，这在机床的整机布局设计过程中，必须考虑热对称性及热稳定性，可考虑采用先进的设计方法加以先期的控制。对机床运动产生的热量、磨削产生的热量、必须通过恒温手段加以严格控制，如油液、导轨轴承所用空气、冷却液等，其温度控制精度应在0.1℃以内。环境温差也是影响超精密平面磨削的一大因素，可考虑采用多层恒温控制手段，机床周围大环境的温差控制在20℃±1℃，其近围环境温度应控制在20℃±0.1℃，而且要控制人体（操作工）对温度的影响。